微波干燥技術和真空干燥技術的結合體，兼具微波干燥和真空干燥優點的一項新的綜合干燥技術。微波真空干燥加工溫度低、營養成分損失率低、脫水效率高，因此對含水率較高的水果蔬菜進行脫水加工時，更能發揮其優勢。
　　
　　早在1979年，法國就在工業中應用微波真空技術，生產的柑橘粉呈發泡狀，易溶解，很好地保持了天然色、香、味，其維生素的保持率遠高于噴霧干燥。美國加州大學研究用微波真空干燥技術生產脫水膨化葡萄，能很好地保持鮮葡萄風味和色澤，外形也能不萎縮，由于微波干燥溫度低，干燥時間短，維生素B1，維生素B2，維生素C能得到較高的保留率。
　　
　　目前對于果蔬的脫水利用的較多的是熱風干燥，通過熱風的高溫導致果蔬表面受熱，水分排出到空氣中，由于滲透差內部的水分會再滲到果蔬表面，再受熱，依次循環，同時由于熱風的強力流動，將進入空氣中的水分排出，從而達到脫水的目的。但是對于某些果蔬的加工，熱風的高溫會破壞果蔬的營養成分，特別是維生素C的含量，同時采用熱風干燥后，對于某些有殺菌要求的果蔬，不能滿足要求。而如果采用微波脫水，在正常大氣壓下，一般60～90℃就可以殺滅果蔬中的細菌，而對于維生素的破壞則小的多。對于某些對溫度比較敏感的果蔬可以采用真空低溫脫水設備進行處理，在真空條件下，水的沸點降低，傳統的傳導、對流、輻射的加熱效果大打折扣，而真空對微波的傳輸卻沒有影響，如此可以方便的在低溫條件下處理果蔬制品。
　　
　　目前國外的鮮花干燥已經形成一個較有規模的行業，干燥后的鮮花顏色、形狀都不變，但是放置期卻可以長達一年以上。同樣采用低溫微波干燥可以避免熱風等方式對鮮花造成的褪色、變性等現象產生。同時，真空低溫微波脫水設備還可以應用于海參等名貴食品的脫水加工，相對于傳統真空低溫脫水，具有、節能、殺菌等優點。
　　
　　研究發現微波真空干燥與40℃真空干燥聯合干燥法干燥時間大大縮短。大蒜干燥后，硫代亞磺酸酯保留率比較接近冷凍干燥，可達到90%，與真空冷凍干燥蒜的色差差異極小，甚至比凍干蒜的白度略好，但*不足的是蒜質構緊密不如冷凍干燥疏松。加工南瓜汁時得到的大量副產品南瓜渣采用不同微波功率和壓強條件進行微波真空干燥，發現在668.37W，4000Pa條件下干燥時，物料中胡蘿卜素的保留率高，達到92.31%。